卷绕镀膜机的功能特性有哪些
2018-08-16 来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:1306
卷绕镀膜机的功能特性有哪些
现在我们的卷绕镀膜机至少包括一个镀膜真空室,置于镀膜真空室之外的卷材放卷机构和收卷机构,其特征是在镀膜真空室与卷材放卷机构和收卷机构之间有至少一个带材进出通过的真空通道,真空通道由窄缝阻尼通道和真空抽气室组成的真空锁构成。
新型卷绕镀膜机卷材放卷机构和收卷机构置于真空室之外,真空锁和窄缝阻尼通道密封可靠,寿命长,设备制造成本低,能进行连续生产,镀膜机能在塑料薄膜、金属板材表面进行单层或多层镀膜,且获得的镀膜表面微观结构非常致密,表面平滑。
卷绕镀膜机在等离子体束溅射中,溅射离子均匀刻蚀靶面,并且不会使靶面产生氧化。与磁控溅射相比,其中的等离子体束是由射频等离子体源产生的,磁场的作用则是使等离子体束会聚并偏转至靶面。
因此,虽然等离子体束溅射镀膜系统内也有磁场,但其磁场却并不控制影响溅射,这也摒弃了磁控溅射中由磁场不均匀带来的“磁控”的缺点。