真空镀膜机开机和关机注意事项有哪些?
2018-10-24 来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:1419
真空镀膜机开机和关机注意事项有哪些?简单地讲，真空镀膜机不管在开机还是在关机时都说有技巧和安全隐患的;接下来的时间里，就由小编给大家详细介绍下有关真空镀膜机开机和关机注意事项吧。
(1)熟练掌握“真空镀膜机安全操作规程”。
(2)开机前先检查水、电、气是否正常。(冷却水压力一般可在0.2MPa以上，气在0.4Mpa以上，电压在370-390V)。
(3)开机步骤：气动机械泵，约30s后开前级阀，开复合真空计，待前级抽至10Pa以下且稳定时再开启扩散泵(必须到后面查看以下电炉丝是否发红)。
(4)关机步骤：关电离计，关闭高阀，切断加热器电源，用前级泵抽前级自然降至室温，关前级管道阀，停止机械泵，停冷却水、停电、停气。
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