真空镀膜设备使用步骤

　　真空镀膜设备使用步骤

　　1电控柜的操作

　　1)开水泵、气源

　　2)开总电源

　　3)开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

　　4)开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

　　5)观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。

　　2DEF-6B电子枪电源柜的操作

　　1)打开总电源

　　2)同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

　　3)开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

　　3关机顺序

　　1)关高真空表头、关分子泵。

　　2)待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

　　3)到50以下时，再关维持泵。