磁控溅射镀膜常见毛病及解决办法

　　磁控溅射镀膜常见毛病及解决办法

　　1.无法起辉

　　(1)直流电源毛病，查看直流电源;

　　(2)氩气进气量小，查看氩气流量计或加大氩气进气量;

　　(3)真空室清洁度不行，清洁真空室;

　　(4)靶材绝缘度不行，查看靶是否与地短路，在通水的情况下，对地电阻应该在 50kΩ以上;

　　(5)磁场强度不行，查看永磁体是否消磁;

　　(6)真空度太差，查看真空体系。

　　2.辉光不稳

　　(1)电压电流不稳，查看电源;

　　(2)真空室压力不稳，查看氩气进气量及真空体系;

　　(3)电缆毛病，查看电缆是否连接良好。

　　3.成膜质量差

　　(1)基片外表清洁度差，清洁基片外表;

　　(2)真空室清洁度差，清洁真空室;

　　(3)基片温度过大或过小，查看温控体系，校准热电偶;

　　(4)真空室压力过大，查看真空体系;

　　(5)溅射功率设置不当，查看直流电源，设置何事的设定功率。

　　4.溅射速率低

　　(1)氩气进气量过大或过小，调查辉光色彩可以判定氩气是过大仍是过小，据此调整氩气进气量;检修流量计;

　　(2)靶材过热，查看冷却水流量;

　　(3)查看永磁体是否消磁。