绕卷镀膜机特点
2017-12-28 来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:1304
绕卷镀膜机,绕卷式镀膜及多层镀膜,并可应用于电子纸、ITO薄膜、软性电路板,太阳能薄膜电池、医疗试片、RFID天线及水氧阻隔膜等各项产品。
绕卷镀膜机特点:
(1) 允许多个镀膜源(金属、合金、介电材料)同时镀膜,且无需破真空。
(2) 分离式腔体可进行不同压力之各式蒸镀、溅镀、电子枪或CVD等镀膜方式。
(3) 使用交流伺服马达增加制程稳定性。
(4) 双向绕卷设计,多层镀膜制程亦无须破真空。
(5) 光学或电阻式在线实时膜厚监控系统,可确保镀膜均匀性。
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