蒸发镀膜机的性能
2017-09-26 来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:1042
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率，可镀制单质和不易热分解的化合物膜。用作真空蒸发镀的装置称为蒸发镀膜机。
蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。蒸发式镀膜机常用蒸发源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。真空室是放置镀件、进行镀膜的场所，直径一般为400~700mm，高400~800mm，用不锈钢制作，有水冷却装置。待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发系统包括蒸发源和加热蒸发源的电气设备。
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